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产品介绍
规格参数
镀膜室尺寸 | φ800*800mm |
每轴最大回转直径 | ≤160mm( 8轴) |
极限真空度 | 8.0*10^(-4)pa |
恢复真空 | 全室清洁空载、暴露大气6分钟, 从大气抽真空至6 ×10^(-2)pa≤10分钟 |
电力配备 | 三相四线380 V±10% 50HZ 名义功率≈40KW |
冷却水压力 | ≥0.2MPa、水温≤25℃、耗水量≈20T/h |
压缩空气 | 0.6-0.8MPa |
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镀膜室尺寸 | φ800*800mm |
每轴最大回转直径 | ≤160mm( 8轴) |
极限真空度 | 8.0*10^(-4)pa |
恢复真空 | 全室清洁空载、暴露大气6分钟, 从大气抽真空至6 ×10^(-2)pa≤10分钟 |
电力配备 | 三相四线380 V±10% 50HZ 名义功率≈40KW |
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